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来看看电子特气管道系统中GC特气柜/GR特气架应该如何设置

2021-03-05 17:35:15    责任编辑: 特气管道安装公司     0

电子特气管道系统,简称特气系统由存储、输送、分配、控制四类组成,其中“存储”是指气源部分(特气柜GC),“输送”指配管方面(一般用双套管),“分配”指二次配部分(气体分配柜VMB),“控制”指监督控制部分(气体管理系统GMS)。是一种广泛应用于半导体、集成电路、光纤、太阳能电池等微电子行业的气路系统。


特种气体系统的GC特气柜/GR特气架的设置须符合下列规定:

1. 气瓶柜与气瓶架可采用单工艺气瓶外置吹扫气源、双工艺气瓶外置吹扫气源、双工艺气瓶内置吹扫气源等多种结构配置;

2. 不相容气体瓶不应放置于同一气瓶柜或气瓶架中;

3. 气瓶柜、气瓶架应设置作业用气体面板;

4. 系统的供应能力应经过热力学和流体力学计算核实;

5. 气瓶柜闭门时应保持不低于100Pa负压,柜内的排风换气次数不得低于300次/h;

6. 自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性气瓶柜应在排风出口设置固定式气体泄漏探测器;

7. 气瓶柜柜体 外壳钢板厚度不应小于2.5mm, 并应有防腐蚀涂层;

8. 气瓶柜门应具备自动关闭功能, 并应配备防爆玻璃观察窗;气瓶柜的固定螺栓设计应满足当地地震设防烈度的要求;

9. 气瓶柜、气瓶架应设置清晰明确的安全标识牌;

10. 当气瓶柜放置在有爆炸和火灾危险环境时,其设计应符合现行国家标准《爆炸危险环境电力装置设计规范》GB50058的有关规定。


电子特气欧亿登录是一种危险性很高的工程,是保证有着易燃易爆、腐蚀、剧毒等性质的特种气体的安全稳定输送的气体供应系统,所以,为了用气安全,在安装特气系统时,要严格遵守其中的一些规定标准。

以上,便是关于特气系统中特气柜和特气架该如何设置的介绍,感谢您的阅读!